Page 22 - 海洋科技博物館 前沿專輯成果專刊

壹 轉化成果
電的開關-動手做樂高電晶體
本作品是以樂高模型來演繹電晶體的工作模
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光與影的生產術-日光顯影實 驗包
一般半導體製程需要在無塵室進行實驗，除了 製程設備昂貴之外，其所使用的化學藥品具有毒性， 為了讓一般民眾以及學生了解奈米世界如何以光學 微影製程來定義施工藍圖，規劃採用日光顯影實驗 包，以淺顯易懂的方式演繹奈米微影製程。
本展品為一實驗包，包含三罐材料、一隻刷子、 投影光罩一張與數張紙張，在一般環境下即可演繹 半導體製程中的微影
概念，分別對應為光
阻、塗佈、光罩與基 板，附有操作手冊及 觀念說明書，讓老師 們可在課堂上講授及 操作微影實驗。
奈米製造-互動式啟發樂高教 學教法
此為一互動式啟發樂高教學教材，透過樂高積 木展示半導體製程製作電晶體的流程。請老師先帶 領以下之活動:
1. 先宣布最終須完成之結構
2. 請學生自行完成結構，並請幾位同學分享其建
造流程
3. 由老師指出流程中無法與半 導體製程匹配的做法，示範 標準製造流程
4. 請同學實際以標準流程製作
式，在閘極處設置電磁鐵來控制開關 (On-Off)，汲 極和源極處設置電路並外接燈泡，兩極間設置中空 區域，在此區放置金屬球，當閘極開關打開時可吸 引下方金屬球往上吸，接通汲極和源極電路而導通 使燈泡發亮 ，當閘極 Off，金屬球往下掉形成斷路， 燈泡轉暗，而燈泡的明暗象徵著處理器中的電晶體 所呈現的數位訊號 1 與 0。本作品以簡單易懂又饒 富童趣的方式讓一般大眾可以自己動手組裝，了解 電晶體的結構與作動原理，並且可讓操作者自行設 計實驗活動，編寫實驗活動手冊，使操作者能活學、 活用科學知識。
離子搬運工-電漿蝕刻製程
本作品是以動畫呈現方式介紹蝕刻製程的種 類，講述濕式蝕刻與乾式蝕刻的差異，以及電漿蝕 刻的工作過程，並進一步說明深蝕刻製程所採用的 Bosch process 工作原理。透過簡單的動畫介紹，讓 一般大眾以及學生了解電漿蝕刻製程的工作原理。
104 - 106 年度前沿科技創新教育資源研發暨應用推廣計畫成果專輯